電子能量損失能譜(EELS)*通過(guò)測量電子與材料在電磁交互作用后,非彈性散射電子的能量損失分布,是物理學(xué)及材料科學(xué)等研究領(lǐng)域的重要表征手段。該技術(shù)在1940年代由 James Hillier 和 R.F. Baker率先開(kāi)發(fā),然而在隨后的50年并沒(méi)有得到廣泛應用,直到1990年代由于電子顯微鏡設備及技術(shù)的進(jìn)步,才在研究中更加普及并突顯其重要性。在EELS近一個(gè)世紀的發(fā)展歷史,有許多值得關(guān)注重大發(fā)展,我們將從眾多文獻中篩選出幾個(gè)極為重要且也是最有趣的,與大家進(jìn)行探討。
電子能量損失(EEL)能譜可以被視為材料的指紋。其能量損失范圍可以從毫電子伏特(meV)到千電子伏特(keV),并從中提取樣品的化學(xué)鍵結性質(zhì)、原子結構排列、介電特性、能帶結構、電熱性質(zhì)等信息。如今,這種方法是如此的先進(jìn)及靈敏,以至于所有準粒子都會(huì )在EEL能譜上留下足跡,而研究人員們也正在努力提高這些特征訊號的感測度。
EES這項技術(shù)已發(fā)展將近一個(gè)世紀,科學(xué)家們借助于電子譜學(xué)和探測器技術(shù)的發(fā)展使技術(shù)獲得突破性的進(jìn)步。例如,得益于混合像素直接電子探測器無(wú)與倫比的量子效率及響應速度,與EEL能譜儀結合時(shí),實(shí)現了更快的量測速度和更好的實(shí)驗靈活性。我們閱讀了大量這一主題的文獻,選取了幾篇關(guān)于技術(shù)發(fā)展的早期開(kāi)創(chuàng )性文獻,幾篇描述最先進(jìn)儀器的近期文獻,及一份非比尋常的文獻中的“珍貴”發(fā)現。
1.使用四級磁透鏡的平行(多通道)探測電子光譜儀
O.L. Krivanek, C.C. Ahn, R.B. Keeney, 1987
科維理獎的獲勝者 Ondrej Krivanek 在 Gatan 工作期間,對電子能量損失能譜儀的開(kāi)發(fā)做出了巨大貢獻,也為柱后能譜儀長(cháng)達十年的成功奠定了基礎。
這個(gè)文獻描述了在柱后能譜儀中引入三個(gè)四極透鏡,搭配具有前置YAG閃爍器轉換的光電二極體線(xiàn)性陣列,通過(guò)一個(gè)計算機控制的數據傳輸接口取得訊號,極大地提高了儀器的操作效率和靈活性。
在那個(gè)時(shí)代,攝影膠片取像計數仍然是一個(gè)常規的手段,這項創(chuàng )新的工作使采集時(shí)間降低到幾分之一秒,極大的簡(jiǎn)化及加速研究工作的推展,因此受到了許多博士生的贊賞。
含有磁扇區,前扇區聚焦線(xiàn)圈,后能譜儀透鏡組件,光電二極管探測系統的平行探測系統原理圖
2.用于能譜和成像的EELS儀器的發(fā)展
O.L. Krivanek, A.J. Gubbens, N. Dellby, 1991
EEL光譜提供了很多信息,但是人們在使用顯微鏡時(shí)候更加關(guān)注于成像。到1991年,平行(多通道平行探測)EELS已經(jīng)成為了一項成熟的技術(shù)。因此Gatan公司將其研發(fā)資源投入到如何在影像資訊中結合譜學(xué)信息。此文獻中,Gatan發(fā)表了支撐他們率先提出的能量過(guò)濾器(即后所眾知的GIF)的理念。同樣適用于TEM和STEM,它開(kāi)啟了選擇特定能量損失窗口的可能性,并只使用與樣品發(fā)生特定相互作用的電子來(lái)生成圖像的可能性。突然間,元素圖譜變得可用了,而(S)TEM圖像必須以彩色打印出來(lái)!(來(lái)表示不同元素的空間分佈)
為了獲得不失真的清晰圖像,需要進(jìn)行若干階的色像差校正,這導致電子光學(xué)硬件設計的復雜性,伴隨而來(lái)的是優(yōu)化光譜儀校準的程序的復雜性。幸運的是,用戶(hù)得到了功能強大的軟件的幫助,這些軟件極大程度地優(yōu)化了光譜儀的性能。
3. 新型柱后成像能量過(guò)濾器的測試與表征
F. Kahl, V. Gerheim, M. Linck, et al., 2019
從電子光學(xué)的角度來(lái)看,能量過(guò)濾器需要與多級像差校正器設計類(lèi)似的分析和數學(xué)方法。
由于CEOS GmbH 團隊在該領(lǐng)域擁有豐富的經(jīng)驗并且享有盛譽(yù)的學(xué)術(shù)背景,他們承擔了設計新型柱后成像過(guò)濾器的任務(wù),旨在提高市售產(chǎn)品的性能。
穩定性、可重復性和易用性也是這個(gè)項目的主要目標,正如2019年的這篇文章所展示的那樣,其展示了能量過(guò)濾成像設備(CEFID)的完整特征。
4.原子分辨率下的單粒子冷凍電鏡
T. Nakane, A. Kotecha, A. Sente, et al., 2020
不僅材料科學(xué),如今生命科學(xué)也受益于成像濾鏡的使用,即使這種技術(shù)僅在最近幾年才超越了分隔這兩個(gè)領(lǐng)域的滲透屏障。生物樣品在存在較厚的非晶質(zhì)情況下,由大量非彈性散射引起的圖像銳利度退化可以通過(guò)零能量損耗過(guò)濾器來(lái)緩解,再加上其他設置的改進(jìn),使來(lái)自劍橋大學(xué)生物科學(xué)(分子生物學(xué)MRC實(shí)驗室)的實(shí)驗小組和合作者能夠突破冷凍電鏡的極限,成功獲取單粒子影像。
使用賽默飛世爾科學(xué)公司開(kāi)發(fā)的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍、下一代直接電子探測器和Selectris能量過(guò)濾器,結合前文所述的能量過(guò)濾器的經(jīng)驗,該小組成功重構了脫鐵鐵蛋白影像,其分辨率達到了驚人的1.22 ?。
5. 4D超快電子顯微鏡下的EELS飛秒分辨率
F. Carbone, B. Barwick, O. Kwon, et al., 2009
自然界并不一直處于基態(tài): 材料會(huì )發(fā)生相變,化學(xué)反應不是靜態(tài)的,過(guò)程中熱量和聲音也會(huì )向外傳播。如果我們要真正研究自然形態(tài)下的物理體系,時(shí)間分辨技術(shù)必不可少。在這種技術(shù)中,樣本在脈沖刺激下進(jìn)入激發(fā)態(tài),并在他們弛豫過(guò)程中進(jìn)行觀(guān)測。
在被稱(chēng)為 "Femtoland "的諾貝爾獎獲得者Ahmed Zewail的實(shí)驗室里,幾臺顯微鏡已經(jīng)被改造并集成超快脈沖激光器,目的是以頻閃方式研究可逆物理現象。并且一些標準的TEM技術(shù)已經(jīng)擴展到了第四維。(三維空間+時(shí)間解析維度)
在這篇文獻里Carbone等人使用超快EELS研究了石墨樣品在受到短脈沖激光擊中后的行為。通過(guò)監測與原子層間相互作用所對應的等離子體峰強變化,可以觀(guān)察到從石墨到最著(zhù)名的碳同素異構體金剛石的超快相變。
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(文章來(lái)源于<德科特思 DECTRIS>)